본 발명은 2 대 이상의 카메라로부터 각각 획득된 홀로그램을 이용하여 표면 형상을 측정하는 3D 측정 광학 시스템에 적용되는 2 대의 카메라를 정렬하는 카메라 정렬방법에 있어서, (a) 상기 3D 측정 광학 시스템의 광 경로 상에 배치된 편광 요소가 동일한 편광 상태를 갖도록 상기 편광 요소의 편광 방향을 정렬하는 단계와, (b) 광원부로부터 빔이 조사되어 상기 2 대의 카메라에 의해 홀로그램이 획득되는 단계와, (c) 상기 한 쌍의 홀로그램에 대해 상관관계(Correlation) 기법을 적용하여, 상기 한 쌍의 카메라 간의 인 플레인 미스얼라인먼트(In plane misalignment)와 아웃 오브 플레인 미스얼라인먼트(Out of plane misalignment) 중 적어도 하나를 정렬하는 단계를 포함하며; 상기 (c) 단계에서 상기 인 플레인 미스얼라인먼트(Out of plane misalignment)를 정렬하는 단계는 (c1) 상기 상관관계(Correlation) 기법 상의 상관관계 피크값(Correlation peak value)의 크기에 기초하여 빔의 상기 카메라로의 입사 방향을 축으로 하는 회전 방향으로의 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계와, (c2) 상기 상관관계 피크값(Correlation peak value)의 상기 홀로그램 상의 위치에 기초하여 상기 입사 방향에 수직한 좌표 평면 상의 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계 중 적어도 하나를 포함하며; 상기 (c) 단계에서 아웃 오브 플레인 미스얼라인먼트(Out of plane misalignment)를 정렬하는 단계는 (c3) 상기 상관관계 피크값(Correlation peak value)의 크기에 기초하여 상기 각 카메라로 입사되는 빔의 광 경로의 거리에 대한 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계와, (c4) 상기 한 쌍의 홀로그램 내의 동일한 위치에 복수의 단위 섹터를 선택하고, 상호 대응하는 단위 섹터에 대해 상기 상관관계(Correlation) 기법을 적용하여 추출한 상기 각 단위 섹터에 대한 상관관계 피크값에 기초하여, 상기 좌표 평면의 두 축을 중심으로 하는 회전 방향으로의 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.