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가간섭 특성을 이용한 3차원 측정장치 및 그 측정방법(3D MEASURING APPARATUS USING COHERENT AND THE MEASURING METHOD THEREOF)

본 발명은 단색필터를 이용하여 백색광 또는 단색광을 선택적으로 주사할 수 있게 함과 동시에 측정광의 광행로의 높이를 조절할 수 있게 하여 탈축홀로그램 방식과 백색광을 이용한 높이 측정 방식을 이용하여 3차원 영상을 얻을 수 있게 함으로써, 측정높이의 한계와 함께 측정속도의 한계를 극복할 수 있도록 한 가간섭 특성을 이용한 3차원 측정장치를 제공하는데 그 목적이 있다. 또한, 본 발명은 대상물의 높이 및 표면 상태에 따라 광원을 선택(단색광 또는 백색광)을 선택하고, 이에 맞게 단색필터를 온/오프하여 사용할 수 있게 함으로써, 측정하고자 하는 대상물의 크기와 측정 속도에 따라 적절한 측정방법을 선택하여 사용할 수 있도록 한 가간섭 특성을 이용한 3차원 측정장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.

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가간섭 특성을 이용한 3차원 측정장치 및 그 측정방법(3D MEASURING APPARATUS USING COHERENT AND THE MEASURING METHOD THEREOF)(2011.04.08).pdf (308.5 KB)

광기술연구실
Opitcal Metrology Laboratory

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