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고속분광편광 측정장치 및 방법

본 발명에 따른 고속분광편광 측정장치는, 광대역 백색광을 평행광으로 변환시키고, 상기 평행광의 크기를 조절하여 측정물을 향하여 평행광을 조사하는 평행광 모듈; 상기 측정물을 투과한 평행광의 광경로를 빔 스플리터로 직행경로와 변조경로로 나누고, 변조 경로로 나뉘어진 평행광을 편광자를 통하여 편광 상태를 변조시키고, 직행 경로로의 평행광과 변조 경로의 평행광을 수광하고 듀얼 스펙트럼 감지 모듈로 조사하는 편광 변조 모듈; 상기 편광 변조 모듈로부터 입사된 평행광을 빔 스플리터로 분리하고, 분리된 평행광을 각각 s선형 편광상태와 p선형 편광상태로 편광하고, 듀얼 분광기로 연결하여 각각 편광된 평행광의 간섭 스펙트럼을 스냅샷으로 측정하는 듀얼 스펙트럼 감지 모듈; 상기 듀얼 스펙트럼 감지 모듈이 측정한 스냅샷의 측정값을 기초로 하여 분광 정보를 갖는 스토크스 벡터를 계산하는 컴퓨터 장치; 를 포함할 수 있으며, 스냅샷 방식으로 측정함으로써 기존 발명과 대비하여 수십 배 이상의 고속측정이 가능하여 다이나믹한 측정이 필요한 반도체나 디스플레이 생산공정 인라인 모니터링 분야에 큰 효과를 가져올 수 있다. 또한, 본 발명의 고속분광편광 측정장치의 구성을 변형함으로써, 고속분광 타원계측기 및 고속분광 반사계측기의 구성도 도출해낼 수 있다.

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고속분광편광 측정장치 및 방법(2016.09.12).pdf (1.1 MB)

광기술연구실
Opitcal Metrology Laboratory

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