분광간섭기술 기반 실시간 분광타원편광측정기술을 세계 최초로 개발하여 상용화하였으며,
네덜란드 Avantes, 미국 Thorlabs 등과의 신 시장 창출을 위한 Biz 협력을 진행중임
| 구분 | 설명 |
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| DSIE Dynamic Spectroscopic Imaging Ellipsometry |
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| DSP Dynamic Spectro-Polarimetry |
편광이방성을 갖는 투과형시료의 편광특성을 나타내는 Stokes Vector 정보를 가시광선 전 영역(400~700nm)에 대해 실시간(~20Hz)으로 측정가능 DSP QWP Measurement : https://youtu.be/Y6jlQCsQDx0 |
| DSE Dynamic Spectro-Ellipsometry |
반도체, 디스플레이 핵심공정인 박막공정을 평가모니터링 할 수 있는 기술로 나노미터 수준의 초박막의 두께 실시간 측정가능 ※ DSE best shortened : https://youtu.be/fiZc8B1Df0s |
| DSR Dynamic Spectro-Reflectrometry |
수직입사방식으로 주기나노패턴의 3D형상정보를 실시간으로 측정가능
※ Final KIMM : https://youtu.be/uj2nJ_cwcC0 |
