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Dynamic SE/SP

분광간섭기술 기반 실시간 분광타원편광측정기술을 세계 최초로 개발하여 상용화하였으며,
네덜란드 Avantes, 미국 Thorlabs 등과의 신 시장 창출을 위한 Biz 협력을 진행중임

구분 설명
DSP

Dynamic Spectro-Polarimetry

편광이방성을 갖는 투과형시료의 편광특성을 나타내는 Stokes Vector 정보를
가시광선 전 영역(400~700nm)에 대해 실시간(~20Hz)으로 측정가능

※ QWP Spholar : https://youtu.be/Z57gwp6mp7g

DSE

Dynamic Spectro-Ellipsometry

반도체, 디스플레이 핵심공정인 박막공정을 평가모니터링 할 수 있는 기술로
나노미터 수준의 초박막의 두께 실시간 측정가능

※ DSE best shortened : https://youtu.be/fCnmDNEIHaE

DSR

Dynamic Spectro-Reflectrometry

수직입사방식으로 주기나노패턴의 3D형상정보를 실시간으로 측정가능

※ Final KIMM : https://youtu.be/7xWrpuM69go

광기술연구실
Opitcal Metrology Laboratory

54896 전북 전주시 덕진구 백제대로 567 전북대학교 공과대학 기계시스템공학부 공대 4호관 317호 / Tel : 063-270-4632, Fax : 063-270-2388 / Email : dashi.kim@jbnu.ac.kr